Ja gek eigenlijk, dat je zoveel ruimte nodig hebt voor zulke kleine bewegingen.mjeuring schreef:Weet je meteen waarom die wafer steppers van ASML zo groot zijn.
Andere X-Y geleiding
Moderator: Moderators
-
hugo stoutjesdijk
- Donateur
- Berichten: 12045
- Lid geworden op: 02 mar 2011 17:04
- Locatie: elst (u)
- Contacteer:
Re: Andere X-Y geleiding
Ik ben voor meer techniek op school, maar dan wel vanaf groep 1 basischool.
Re: Andere X-Y geleiding
Die dingen hebben ook een dubbele set lineaire motoren. Een set voor de "grove" (ahum) X- en Y verstelling en een set voor het echt nauwkeurige werk. Heb een tijdje in de toelevering van lineaire motoren gewerkt voor ASML, ook een keertje Veldhoven van binnen bekeken 
Re: Andere X-Y geleiding
Ik zit me af te vragen hoe dat zou werken met een dubbele aansturing per as. De nauwkeurigheid wordt mi toch bepaald door de 'grofste'. Als die dan heel nauwkeurig is, heb je geen fijnafstelling nodig ofwel?
Of worden beide waarden teruggekoppeld en verrekend met elkaar?
Of worden beide waarden teruggekoppeld en verrekend met elkaar?
ASS-U-ME
Re: Andere X-Y geleiding
Zit een feedbacksysteem in. De fijnafstelling corrigeert de onnauwkeurigheid van de grofafstelling.
Je maakt eerst een flinke slag met TR50x5, meet waar je bent en corrigeert dan heel nauwkeuring met M4x0,25
Je maakt eerst een flinke slag met TR50x5, meet waar je bent en corrigeert dan heel nauwkeuring met M4x0,25
-
hugo stoutjesdijk
- Donateur
- Berichten: 12045
- Lid geworden op: 02 mar 2011 17:04
- Locatie: elst (u)
- Contacteer:
Re: Andere X-Y geleiding
mjeuring schreef:Je maakt eerst een flinke slag met TR50x5, meet waar je bent en corrigeert dan heel nauwkeuring met M4x0,25
Huh...mjeuring schreef:Die dingen hebben ook een dubbele set lineaire motoren.
ik haak af.Ik ben voor meer techniek op school, maar dan wel vanaf groep 1 basischool.
Re: Andere X-Y geleiding
Ja, sorry, zei het er niet bij 
